전공 · 삼성전자 / 공정기술

Q. 반도체 내용 관련 질문

DD-39

소자 제작 실습을 했었는데, 이 경험들이 반도체공정과 얼마나 연관성이 있는지 잘 모르겠습니다. 알려주시면 감사드리겠습니다! 1. 커패시터 절연층을 제작하고자 웨이퍼에 절연성 고분자 용액을 스핀코팅을 통해 도포하고 어닐링한 이후, 섀도우마스크를 이용해 상부와 하부에 Thermal evaporator로 금속 전극을 증착하는 과정은 8대공정과 어느정도 연관이 있을까요? 그리고 절연층 제작 전 초반에 웨이퍼를 IPA(이소프로필 알코올)로 세정하고 초음파 처리, UV오존처리 등을 진행하는 과정을 세정공정으로 보는건 너무 과한 시각인가요? 2. 트랜지스터 절연층을 제작하고자 웨이퍼에 절연성의 자가처리용 화합물을 웨이퍼에 흡착해 SAMs를 형성하고, 베이크-초음파 처리하는 과정은 8대공정과 어느정도 연관이 있을까요? 그리고 이렇게 형성된 절연층에 섀도우마스크를 이용해 Thermal Evaporator로 반도체, 소스/드레인 전극을 증착하는 과정은 8대공정과 어느정도 연관이 있을지 궁금합니다.


2025.12.22

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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